檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "none".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="熱滯留層"
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本論文以即時光學反射穿透率量測系統,測量了熱滯留層輔助準分子雷射退火矽膜結晶法過程中的融化時間。實驗結果顯示吸收係數12000cm-1時disc grain尺寸由傳統製程方式之1μm增加為8μm,原…