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    矽膜之光學特性時間分析解明雷射退火 長晶過程與橫向長晶速率
    • 電子工程系 /94/ 碩士
    • 研究生: 莊淳鈞 指導教授: 葉文昌
    • 本論文以即時光學反射穿透率量測系統,測量了熱滯留層輔助準分子雷射退火矽膜結晶法過程中的融化時間。實驗結果顯示吸收係數12000cm-1時disc grain尺寸由傳統製程方式之1μm增加為8μm,原…
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